Разработана магнетронная технология синтеза магнитных сверхрешеток с эффектом гигантского магнитосопротивления, имеющих рекордные функциональные характеристики. Сверхрешетки напыляются на окисленные кремниевые подложки диаметром до 100 мм. Предназначены для разработки и создания высокочувствительных магнитных сенсоров. В сравнении с зарубежными аналогами полученные сверхрешетки CoFeNi/CuIn обладают в 1.4–1.6 раз более высоким магнитосопротивлением, в 3-5 раз более низким гистерезисом, высокой линейностью по магнитному полю до 70-85% и температурной стабильностью при нагреве до Т=300 ^оС. Магнитные сверхрешетки с заданными функциональными характеристиками изготовлены для НПК «Технологический центр».

Разработка реализована на практике.