Технологии синтеза методом магнетронного напыления и методом молекулярно-лучевой эпитаксии магниточувствительных материалов

Оптимизированы технологии синтеза методом магнетронного напыления и методом молекулярно-лучевой эпитаксии магниточувствительных материалов, перспективных для практических приложений микроэлектроники: сверхрешетки CoFe/Cu с рекордными значениями ГМР эффекта (80%) и сверхрешетки NiFeCo/Cu с чувствительностью до 0.5%/Oe. Синтезированные сверхрешетки превышают по функциональным характеристикам зарубежные аналоги.

Разработка готова к практическому применению.