Отдел технологий и диагностики наноструктур

Отдел располагает следующим оборудованием:

• Высоковакуумная магнетронная установка MPS-4000-C6 (ULVAC Inc., Япония)
• Сверхвысоковакуумная установка молекулярно-лучевой эпитаксии «Катунь-С»
• Растровый сканирующий электронный микроскоп FEI Inspect F
• Автоматизированный сканирующий зондовый микроскоп НТ-МДТ «Солвер Некст»
• Установка экспонирования и совмещения SUSS MJB4
• Оптический профилометр белого света ZygoLOT NewView 7300
• Настольная установка для напыления металлов и углерода Quorum Q 150Т ЕS
• Полуавтоматическая установка ультразвуковой микросварки TPT HB16
• Система подготовки сверхчистой воды Milipore Elix 10
• Лабораторная центрифуга Sawatec SM 180
• Температурный столик Sawatec HP 150
• Герметизационный модуль чистых помещений для технологий наноспинтроники
• Установка безмасковой лазерной литографии Heidelberg Instruments DWL 66+

Порядок доступа к оборудованию отдела для научных подразделений Института

​

Руководитель отдела 

Миляев Михаил Анатольевич, доктор физ.-мат. наук,

тел: +7(343) 378 38 81, e-mail: milyaev@imp.uran.ru

Состав отдела:

• Сектор технологий магнитных наноструктур;

• Сектор литографии наноструктур;

• Сектор рентгеновской диагностики наноструктур.

  .